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刻蝕裝備翻新改造

包含PECVD、干法刻蝕等一系列集成電路生產用刻蝕設備。包括包括AMAT/NOVELLUS/LAM主流設備,翻新內容包括:
干泵翻新
分子泵翻新
射頻源翻新
MFC、Robot & Slide Valve 翻新
更換全新Process kit、O-ring & 過濾器
設備清潔及部件潤滑
排線整理或更換

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