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軌道設備的翻新改造

涂膠顯影設備翻新改造 -TEL Track ---Mark VZ、Mark 7/8、ACT 8(I-line,DUV) -SVG Track ---SVG 88、SVG 90
服務內容包括設備原機性能評估測試、各功能模塊功能恢復、設備精度調試及測試以達到客戶要求,同時可提供保修期、培訓及大線on-call服務,基片size可滿足從8寸到4寸的不同需求。

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